压电移相器
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压电移相器是移相干涉仪中非常重要的部件,压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定,因此被广泛使用。
压电移相器特点:
用于扫描、光学对准及镜子移动装置对准
10mm中空
压电三脚设计
光束偏转可达2.4mrad
活塞运动可达12μm(移相器)
亚毫秒响应,亚微弧度分辨率
用于光学,镜片或其他部件
无摩擦,高精度弯曲导向系统
平行运动学扩展动态性及更好的多轴精度
压电移相器应用案例:
图像处理/稳定
干涉法
激光扫描/光束偏转
激光调谐
光过滤/开关
光束稳定
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