压电平台
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压电平台是采用压电陶瓷驱动的纳米***台，无摩擦、无空回柔性导向机构，有限元分析优化柔性铰链机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，高刚度，高负载，无磨损，免维护的特点，压电平台内置精密位移传感器进行全闭环反馈，确保了平台具有***的控制精度、***精度、分辨率和稳定性，响应速度快，稳定时间达毫秒量级，平台无磁性也不受磁场干扰。
XP-630压电平台，采用压电陶瓷直驱结构，无摩擦柔性铰链机构设计的一维压电平台，产品体积小巧、负载能力强、响应速度快，内置高性能全闭环传感器***精度极高，可以通过组合行程二维、三维压电平台
特点：
1-3维自由组合
单轴***大行程68μm
柔性铰链导向、全闭环传感***精度高
压电陶瓷直驱机构、负载能力强、运动方向刚度大
响应速度快，可达毫秒量级
应用：
光纤端面检测 聚焦显微成像 电化学加工 3D锡膏检测 精密*** 精密加工 光纤对接
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