仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。三、基本技术参数1. 测量范围、分辨率 电 阻: 0.010 ~ 9999Ω,体积表面电阻率试验仪多少钱一台, 分辨率0.001 ~ 1 Ω 电 阻 率: 0.010~ 2000Ω-cm, 分辨率0.001 ~ 1 Ω-cm 方块电阻: 0.050~ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ~ 1 Ω/□2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸,但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直 径:SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可.
本仪器是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I,通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算,然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值,即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化,其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流I的变化而变,所以,即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大,其测量精度很高(专利),从理论上讲其误差可以做到零,而实际误差可以做到千分之几或万分之几。
典型应用
1、测量绝缘材料电阻、体积电阻、表面电阻(率)
2、测量防静电材料的电阻及电阻率
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.1mA~10mA分两档
10mA量程:0.1~1mA 连续可调
10mA量程:1mA ~10mA连续可调
恒流精度:各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片
(3) 直流数字电压表
测量范围:0~199.9mv
灵敏度:100μv
准确度:0.2%(±2个字)
(4) 供电电源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用环境:
相对湿度≤80%
(6) 重量、体积
重量:2.2 公斤
体积:宽210×高100×深240(mm)
(7)KD探针头
压痕直径:30/50μm
间距:1.00mm
探针合力:8±1N
针材:TC
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