R-14制冷剂，别名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名称有Freon 14等，中文名称四氟化碳、四氟***，英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14属于FC类物质——对臭氧层没有***、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、***设备上的再添加均没有限制。
R-14主要用途
R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、***制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟***）是目前微电子工业中用量***大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟***高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
R-14***性质
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冷媒名称 |
R-14 |
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分子量 |
88.0 |
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沸点（1atm），℃ |
-128 |
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临界温度，℃ |
-45.67 |
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临界压力，kPa |
3740 |
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饱和蒸气压（25℃），kPa |
3650（-45.6℃） |
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汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg |
- |
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***臭氧潜能值（ODP） |
0 |
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***变暖潜能值(GWP，100 yr) |
5700 |
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ASHRAE安全级别 |
A1（***不可燃） |
R-14冷媒包装
可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：5kg/瓶，32kg/瓶。
R-14储存、运输
R-14制冷剂钢瓶为高压容器，储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒，通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内；搬运时应轻装、轻卸，防止钢瓶以及阀门等附件破损。