众邦真空泵(图)-罗茨水环真空机组-江苏真空机组

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生yi燃易bao以及***的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，水环式真空泵应用时需要注意的几个安全事项：

1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，罗茨往复真空机组，并在必要的时候设置过滤设备。

2、有效稀释***气体的浓度

半导体易产生前面所说的yi爆、***的***气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

3、注意氧气的浓度

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

4、防止温度过高

比较容易理解这点，半导体在真空泵的应用中，***气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易ran爆及有***体就会容易发生***。

当我们在使用真空泵的时候，需要注意到在导体中的使用安全注意事项吗，以及后期再使用时做好操作使用。

不锈钢真空泵是我们的主打产品之一，接下来呢，我们极力为您以下的介绍，众邦{水环式真空泵}，或许您能够从中受益不少呢。下面小编就给大家来简单的介绍一下不锈钢真空泵的工作原理，真空泵备件，我们一起来了解一下吧。

　　不锈钢真空泵运行时，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，下部内表面刚好与叶片顶端接触实际上叶片在水环内有一定的插入深度。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，罗茨真空机组，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出不锈钢真空泵泵外

真空泵压缩气体所需的功率与压差成正比，一旦气体压差过高，泵可能出现过载现象，造成电机绕组烧损，解决泵过载问题的方法主要有以下几种：

　　（1）采用机械式自动调压旁通阀。

　　旁通阀安装在真空泵的出口和入口之间的旁通管路上。此阀控制泵出入口之间的压差不超过额定值。当压差达到额定值时，阀门靠压差作用自动打开，使泵出口和入口相通，使出入口之间的压差迅 速降低，这时泵在几乎无压差的负荷下工作。当压差低于额定值时，阀自动关闭。

　　（2）采用液力联轴器

　　采用液力联轴器也能防止泵的过载现象发生，使泵可以在高压差下工作。液力联轴器安装在泵和电动机之间。在正常工作状态下，液力联轴器由电动机端向泵传递额定力矩。当泵在高压差下工作或 与泵同时启动时，在液体联轴器内部产生了转速差即滑动，江苏真空机组，只传递一定的力矩，使泵减速工作。随着抽气的进xing，气体负荷减小，泵逐渐加速到额定转速。

　　（3）采用真空电气元件控制泵入口压力

　　在真空泵的入口管路处安置真空膜盒继电器或电接点真空压力表等压力敏感元件。真空系统启动后，当泵入口处压力低于给定值（泵允许启动压力）时，压力敏感元件发出信号，经电气控制系统开 启泵（如真空系统中装有泵旁通管路，罗茨水环真空机组，则同时关闭旁通管路阀门）。若泵入口压力高于规定值时，则自动关闭泵（或同时打开泵旁通管路阀门），从而保证了泵的可靠运转。

　　当真空泵出现过载的情况时，不妨试试以上方法，如果依旧不能不能解决，可以咨询我们，很高兴为您提供帮助。