HEIDENHAIN海德汉的光栅尺分为敞开式光栅尺和集成好的封闭式光栅尺，
根据方法的不同又分为增量式和***值式光栅尺，
以下是敞开式光栅尺的信息：
直线光栅尺测量直线轴位置过程期间没有
任何其它机械传动件。因此，它能消除以
下潜在误差源：
••滚珠丝杠温度特性导致的***误差
••反向误差
••滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差
因此，直线光栅尺已成为高精度***和高
速加工不可或缺的必备条件。
敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测
量的机床和系统。典型应用包括：
••半导体工业的测量和生产设备
•• PCB电路板组装机
••超精密机床，例如加工光学元件的金刚
石刀具，加工磁盘端面车床和加工铁氧
体元件的磨床
••高精度机床
••测量机和比较仪，测量显微镜和其它精
密测量设备
••直接驱动
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅
尺和读数头，光栅尺和读数头间无机械接
触。
敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安
装面上。安装面的平面度直接影响直线光
栅尺精度。***式位置测量
LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动
的行程达27 m内的***位置。其尺寸和安
装方式与LIDA 400相同。
基体和安装方式热膨胀系数
atherm
精度等级***式位置测量
LIC
用于***位置测量
钢带光栅尺穿入在铝壳中并预
紧
与安装面相同&plu***n; 5 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
10 · 10–6K–1 &plu***n; 15 μm
&plu***n; 5 μm2)
钢带光栅尺，嵌入在安装面中 10 · 10–6K–1 &plu***n; 15 μm
&plu***n; 5 μm2)
增量式直线光栅尺
LIP
超高精度
Zerodur玻璃陶瓷基体，嵌入
在螺栓固定在不胀的钢基座上
0 · 10–6K–1 &plu***n; 0.5 μm3) Zerodur玻璃陶瓷光栅尺带固
定架
0 · 10–6K–1 &plu***n; 3 μm
&plu***n; 1 μm
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体
光栅带固定架
0 · 10–6K–1 或
8 · 10–6K–1
&plu***n; 1 μm
&plu***n; 0.5 μm3)
玻璃光栅尺，安装架固定 8 · 10–6K–1 &plu***n; 1 μm LIF
高精度
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体
光栅尺，通过PRECIMET背胶
固定
0 · 10–6K–1 或
8 · 10–6K–1
&plu***n; 3 μm LIDA
用于高速运动和大测量长度
玻璃或玻璃陶瓷光栅尺，嵌入
在安装面中
0 · 10–6K–1 或
8 · 10–6K–1
&plu***n; 5 μm3) 钢带光栅尺穿入在铝壳中并预
紧
与安装面相同&plu***n; 5 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
10 · 10–6K–1 &plu***n; 15 μm
&plu***n; 5 μm2)
钢带光栅尺，嵌入在安装面中 10 · 10–6K–1 &plu***n; 15 μm
&plu***n; 5 μm2)
钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
10 · 10–6K–1 &plu***n; 30 μm 钢带光栅尺，嵌入在安装面中 10 · 10–6K–1 &plu***n; 30 μm PP
二维坐标测量
玻璃格栅板，全表面固定 8 · 10–6K–1 &plu***n; 2 μm 1) 正弦信号周期。
它是单信号周期内误差的决定性因素（参见测量精度）。超高精度
LIP敞开式直线光栅尺的特点是测量步距
非常小、精度和重复精度非常高。 扫描方
式为干涉扫描，测量基准为DIADUR相位
光栅（LIP 281：OPTODUR相位光栅）。
高精度
LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是
SUPRADUR玻璃基体光栅，用干涉扫描方
法。特点是精度和重复精度高，安装简
单，有限位开关和回零轨。 特殊型号的
LIF 481 V可用于10–7bar的真空环境中（
参见其单独“产品信息”）。
运动速度快
LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速
度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安
装方式，安装简单。根据相应应用要
求，METALLUR光栅的基体可为钢带，玻
璃或玻璃陶瓷。 也可有限位开关。
敞开式光栅尺型号：
用于***位置测量
LIC 4015 18
LIC 4017 20
LIC 4019 22
高精度
LIP 372, LIP 382 24
LIP 281 26
LIP 471, LIP 481 28
LIP 571, LIP 581 30
LIF 471, LIF 481 32
高速运动
LIDA 473, LIDA 483 34
LIDA 475, LIDA 485 36
LIDA 477, LIDA 487 38
LIDA 479, LIDA 489 40
LIDA 277, LIDA 287 42
LIDA 279, LIDA 289
封闭式光栅尺型号：
用于***位置测量 0.1um
L***00系列
LC100系列
高重复精度增量式直线测量0.1um
LF481
LF183
用于增量直线测量 0.5um
LS400系列
LS100系列
大长度测量的增量式直线测量 0.1um
LB382-单段
LB382-多段
更多HEIDENHAIN海德汉光栅尺以及封闭式光栅尺信息请联系销售工程师：于洪超 15801124623
hongchao_yu@