| 规格 | 测量面对基面垂直度 | 测量面平面度或直线度 | 基面平面度或直线度 | ||||||
| 精度等级 | |||||||||
| 1级 | 2级 | 3级 | 1级 | 2级 | 3级 | 1级 | 2级 | 3级 | |
| 200×200 | 8 | 16 | 30 | 4 | 8 | 16 | 6 | 12 | 24 | 
| 300×200 | 10 | 20 | 40 | 5 | 10 | 20 | 8 | 16 | 30 | 
| 300×300 | 10 | 20 | 40 | 5 | 10 | 20 | 8 | 16 | 30 | 
| 400×300 | 12 | 24 | 45 | 6 | 12 | 24 | 10 | 20 | 40 | 
| 400×400 | 12 | 24 | 45 | 6 | 12 | 24 | 10 | 20 | 40 | 
| 500×400 | 
 | 28 | 50 | 
 | 14 | 28 | 
 | 24 | 48 | 
| 500×500 | 
 | 28 | 50 | 
 | 14 | 28 | 
 | 24 | 48 | 
| 800×600 | 
 | 35 | 60 | 
 | 18 | 35 | 
 | 28 | 55 | 

 
                             
                             
                             
                             
                             
            