离子束溅射薄膜压力传感器

BDCY15-5系列离子束溅射薄膜压力传感器，应用***的离子束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺，显著改善了应用式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性，使产品使用的温度范围大为扩展。
目前该传感器广泛应用于某新型大推力低温发动机低温介质（液氮液氧）的压力测量，具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度范围宽、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点，可用于高温及低温等恶劣的环境。
技术参数
1. 灵敏性：1.5&plu***n;0.2mv/V
2. 量程：0~1-150Mpa（特殊要求可定做）
3. 准确度：&plu***n;0.1、&plu***n;0.2、&plu***n;0.5（%F?S）
4. 稳定性：&plu***n;0.1%FS/年
5. 介质温度：-196℃×+175℃
6. 温度系数：零点：&plu***n;1~2&plu***n;10-4/℃;灵敏度：&plu***n;1~2&plu***n;10-4/℃
7. 桥臂电阻：1~3KΩ
8. 接液材料：膜片17-4PH，过程连接件1Cr18Ni9Ti
9. 过载：150%FS
10. 加速度：7.5g  三向
11. 冲击、振动、高低温及温热：按GJB150相关标准执行