




何为压阻式压力传感器?
压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,射频前端封装,从而使硅的电阻率发生变化。
压力传感器被广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军i工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。力学传感器的种类繁多,倒装封装,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用***为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性,下面我们主要介绍这类传感器。
压阻式压力传感器优缺点
优点:
1.频率响应高,f0可达1.5M
2.体积小,耗电少
3.灵敏度高,精度高,安徽封装,可测量0.1%的精i确度
4.无运动部件(敏感元件与转换元件一体)
缺点:
1.温度特性差
2.工艺复杂
封装材料的选择决定传感器的性能
由于半导体材料对温度十分敏感,射频模块封装,所以使用过程中会存在零漂、温漂等一系列问题,通过软件补偿能够解决一些问题,但封装的影响同样不容忽视,这包括封装所选材料的电性能、挥发性,以及受热受寒膨胀收缩系数等等都可能使传感器性能下降,稳定性下降,甚至会使传感器无法使用。

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