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电子无尘车间净化工程设计施工要求

电子无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，电子无尘车间净化工程对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，电子无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

根据电子无尘车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合***送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

第1种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的净化车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第2种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为主要的净化设计方案。

FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，食品包装无尘低温车间好不好，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超***过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和***供应、超纯水供应等。

集成电路制造对电子无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

无尘净化车间常规管理规定

1、全部操作人员进入无尘净化车间有必要戴上口罩头发禁止显露、袖口上卷，进入工作区有必要依照工作请求戴上手套，依照工作指导书的请求进行操作***过滤器，操作时期禁止戴上手套摸脸，头发等造成硅片的操作污染影响电池的外观，关于违背规则的咱们处以100元的经济处分。

2、关于生产流程单填写请求笔迹整齐禁止涂改，如需更改更改者有必要在所改内容旁签上姓名，关于违背此规则的将处以100元/次，三次以上者开除。

3、关于上下道工序的交代有必要实施操作人一对一，流程单和硅片什物交代交代人对单上的数量负责任，如发现少片情况需找上道工序澄清情况，承认是不是因为少片没有记载，关于发现少片又不找上道工序自个乱改流程单的每次处以100元的罚款三次开除。

4、关于现场的表单有必要依照工作指导书请求和规则仔细的填写如换网板记载等，对违背规则者咱们处以100元罚款组长、班长扣当月绩效的20分。

5、全部出场的新职工有必要接受设备部分的训练和查核合格后方可***操作机台，如未经查核而私自操作机台的职工将处以100元的罚款，对班组长的渎职扣减全月的绩效。

6、无尘净化车间内部除班组长因工作需要运用手机，其它任何人不得在无尘车间内运用手机和玩弄手机，食品包装无尘低温车间多少钱，关于违者罚款100元并通报全无尘车间一次。

7、无尘净化车间的岗位工作指导书有必要实施***、定检、定人的办理准则，操作人员不得复印工作指导书或许带回家去学习，专人有必要守时定时的去点检工作指导书。

8、无尘净化车间内全部技术，机台参数任何生产操作人员不得私行修正，食品包装无尘低温车间，如有违背一经发现当即开除，而且停发全部工资。

9、无尘净化车间工序计算电脑，只有组长或组长指使的专人才干操作，如有在此电脑上玩游戏，听音乐的一经查办当即开除。

无尘净化车间工程装修流程

1、观察现场，确定设计方案。根据不同的车间和不同的行业，净化车间装修的级别和价格肯定是不一样的。当然能让设计师看到车间整体图纸，方便设计，节约时间。

2、净化车间装修材料的准备。无尘车间的材料比较严格，首先无尘，材料是不能产生灰尘的材料，还要坚固不易碎，不易产生静电等要求。根据不同行业要求，食品包装无尘低温车间找哪家，选材稍有出入。

台州富叶电子有限公司十万级净化车间工程项目

3、隔断施工环境。大体属于对整体净化车间装修搭起一个框架，类似建造房子的外框。

4、安装无尘净化设备，这些设备是保证以后车间环境的监控，达到恒定车间内温湿度、含尘量、静电等数据。

5、地面施工

6、验收。检查净化车间装修材料是否完整，千级无尘车间是否达到要求，各处的监控设备是否能正常运行。

十万级净化车间装修方案应注意的三个因素