
划片机主轴故障分析及修理方法
主轴抱死——主要原因是空气回路不洁净,过滤效果不好,特别是进入油、杂子造成气孔堵塞而造成的。 修理方法:首先,更换过滤器芯,过滤效果;其次,打开主轴重新研磨轴承内孔及端面,然后用航空***彻底清洗干净即可。此操作一般用户不具备条件,应送***厂修理。 振动过大——主要原因,一是主轴动平衡不好(包括刀盘),二是砂轮片动平衡不好。 修理方法:主轴重新做动平衡达到合格,此操作一般用户不具备条件,应送***厂修理;或更换合格的砂轮片。 跳动过大——主要原因是刀盘,或主轴加工精度不好,处理办法:更换刀盘或主轴。 温升过大——主要原因,一是主轴冷却不好,处理办法:检查冷却水压力、水温和水量是否正常。二是电机过载发热导致,主要原因是小马拉大车,主轴功率偏小;处理办法:降低加工范围,或则更换功率大的主轴。
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激光划片技术是生产集成电路的关键技术,其划线细、精度高(线宽为15-25μm,槽深5-200μm)、加工速度快(可达200mm/s),成品率达99.5%以上。集成电路生产过程中,销售disco机器,在一块基片上要制备上千个电路,在封装前要把它们分割成单个管芯。传统的方法是用金刚石砂轮切割,硅片表面因受机械力而产生辐射状裂纹。用激光划线技术进行划片,把激光束聚焦在硅片表面,产生高温使材料汽化而形成沟槽。
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