低温等离子体化学反响的进程大致如下：
从上述反响进程能够看出，电子先从电场取得能量，经过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，取得能量的污染物分子被激发，部分分子被电离，然后成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互磕碰后生成稳定产品和热。别的，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，低温等离子废气除臭设备哪里有销售，在化学反响中起着重要的作用。
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降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有很大的技术优势。设备适合中低浓度废气净化，尤其适合降解非总烃，配合预处理，效果更佳。
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