SPA等离子处理设备: 允许全面的前部访问,方便地访问所有内部组件。泵定位在辊子上,便于拆卸。等离子体室由11号不锈钢和铝制固定装置构成,具有出色的耐用性。该室具有多个可移动和可调节的货架,可容纳一系列零件承运人,包括机械手,托盘,晶片。具有可选高吞吐量货架的离子体处理系统,将等离子清洗机的可靠性和工艺质量与达因特独特的搁架设计的成熟优势相结合。等离子体中发现的反应离子,提高了处理均匀性,等离子清洗的特点,同时缩短了处理时间。系统允许从一系列工艺气体(如氢气和氦气)中进行选择。它配备了四个质量流量控制器,用于气体控制。开槽的杂志垂直放置在室内。此外,开槽的处理的材料可以垂直放置在室内。通常,每个槽至少保存20个引线框。SPV等离子室可容纳多个放置处理的槽,具体取决于处理材料的大小。






等离子体处理系统:设计用于船舶,托盘或其他载体上的微电子设备的高通量在线处理;是前置倒装芯片底部填充(FCUF)工艺的理想选择。独特的船只旁路功能优化了生产效率,多个在线等离子模块和生产就绪的双车道船只处理提高了吞吐量。
等离子体处理系统:设计用于引线框条,led等离子清洗机,层压基板和其他带状电子元件的高通量处理。处理每个等离子体循环最多5个条带,并且具有较长等离子体室的每个等离子体循环可处理多达10个条带。操作将零件返回同一个杂志。

等离子体系统是一种有效的等离子体处理,具有用于批量处理的超大型室。它是一种经济高效的真空等离子处理机,等离子,用于处理各种零部件。它完全独立,需要小的占地面积。泵,腔室,等离子除胶机的原理 ,控制电子设备和13.56 MHz射频发生器都包含在其外壳内。AP-1500等离子处理设备还提供滑出式水平货架,便于装卸。其紧凑,服务友好的设计占地面积小,专为从系统前后的维护而设计。因此,多个真空等离子体处理系统可以并排放置,以占地面积利用率。泵定位在辊子上,便于拆卸。控制系统可以在多个级别进行密码保护,以防止未经授权的配方修改。这确保系统从一批到最后一次的性能一致。
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