晶圆平整度曲率应力测量仪--德国OEG的详细描述：
德国OEG公司成立于1991，设计制造***精密的光学和半导体领域仪器设备。
主要产品：MTF测试系统
光学测量工作站OTS 200
精密金刚石划片机MR200
Flatscan晶圆平整度应力和表面曲率测量仪
电子准直镜
晶圆线宽和特征尺寸测量仪
接触角/表面张力/表面自由能测量仪
更多产品信息请来电咨询。
光学非接触表面测量仪，能进行大范围的2D和3D测量，可测量晶圆应力（薄膜应力），表面半径曲率和斜坡。
TTV，Bow, Warp.
FLATSCAN：主要用于各种像硅、镜片、金属和抛光聚合物等反射表面的非接触测量，可测量平整度、表面曲率、平均半径和应力。光学测量原理保证了高精度，是通过测量垂直入射激光束的反射角，表面状态能通过测量点发射角的改变***测量。
就半导体行业而言，是通过镀膜前后的对半径的计算测量应力。
大测量的范围：测量直径***大200mm
高测量精度：0.1arcsec, 100nm
选件：2D3D测量
技术参数：
