低温泵/冷泵 Cryopump
CRYO-PLEX®8型
抽速(升/秒): 空气1500 l/s; 水气4000l/s; 氢气2500 l/s; ***气1200
通导(scc/min): ***气
重量（Kg）:20.4
吸气能力（ters）：***气1000 氢气18（5x10-6torr）
转换点（ters）:150
制冷时间（min）：90
泵口法兰：6in.ANSI(外径11in.) ISO NW200
外形尺寸（mm）：高526
CRYO-PLEX®8LP型
抽速(升/秒): 空气1500l/s; 水气4000l/s; 氢气2200l/s; ***气1200
通导(scc/min): ***气700
重量（Kg）:19
吸气能力（ters）：***气1000 氢气12（5x10-6torr）
转换点（ters）:150
制冷时间（min）：90
泵口法兰：6in.ANSI(外径11in.) ISO NW200
外形尺寸（mm）：高179 长574
CRYO-PLEX®10型
抽速(升/秒): 空气3000l/s; 水气9000l/s; 氢气5000l/s; ***气2500
通导(scc/min): ***气1500
重量（Kg）:38.6
吸气能力（ters）：***气2000 氢气24（5x10-6torr）
转换点（ters）:300
制冷时间（min）：60
泵口法兰：10in.ANSI(外径11in.) ISO NW320
外形尺寸（mm）：高508
CRYO-PLEX®16型
抽速(升/秒): 空气5000l/s; 水气16000l/s; 氢气12000l/s; ***气4200
通导(scc/min): ***气500
重量（Kg）:72.6
吸气能力（ters）：***气2500 氢气15（5x10-6torr）
转换点（ters）:300
制冷时间（min）：150
泵口法兰：16in.CVC(外径17.7in.) ISO NW400
外形尺寸（mm）：高610