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3、双重橡胶密封法兰

双重橡胶密封法兰主要用于避免橡胶材料的出气和渗漏影响，以实现超高真空的获得。通过中间冷却槽冷冻橡胶或中间抽真空来达到降低橡胶出气和减少渗漏的目的。

4、真空快卸法兰

真空快卸法兰主要用于高、中、低真空管路，又分夹紧型和拧紧型，通常用O型橡胶密封圈密封。

5、卡钳真空法兰

卡钳真空法兰同样用于高、中、低真空的管路连接，形式上有卡钳螺钉连接、卡钳垫块连接及卡钳螺栓连接。

6、金属密封法兰

金属密封法兰一般用于压力低于10-7Pa的超高真空系统，要求密封材料耐200℃以上的高温烘烤。常用的密封材料有铝、铜、金等。

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1、装配法兰前，必须把法兰表面尤其是密封面清理干净。

2、装配平焊法兰时，管端应插入法兰内径厚度的2/3，然后将法兰与管子点焊一处，如为水平管道，应先从上方点焊，再用90°角尺从不同方向检查校正法兰位置，使其密封面垂直于管子中心线，无误后再点焊下方第二个点。

3、用90°角尺从左右方向检查校正法兰位置，合格后再点焊第三、第四个点，这样便完成了法兰的点焊固定工作。

4、对于成对法兰的装配，应使后安装的法兰的螺栓孔对准已经固定的法兰相应螺栓孔，并且与已经固定的法兰相平行，其偏差不大于法兰外径的1.5‰，且不大于2mm。

5、当选择设备或阀件的配用法兰时，应注意原设备或阀件的法兰与管子所用的法兰连接尺寸是否相一致。