Honeywell TK-PRS021(51404305-375)
由于这种电路工作时，控制电压是一组互补电压，分别控制串联和并联的开关MESFET。电调过程中两控制端的负载必须相同，否则压控电调时，驻波特性明显恶化。通常设计直流参数电路来平衡两控制端的负载使其相同，达到电调控制中改善驻波特性的目的。本文采用了设计时选定两控制负载相同的方法，达到改善电调控制端中驻波特性的目的。过程如下：
采用成熟的微波单片电路设计软件（如AgilentEesof软件）进行电路的仿真和优化；
根据优化的结果进行版图设计；
根据设计的版图进行二次仿真和优化，并修改和确定版图；
选择和设计合理的工艺途径；
工艺流片，微波在片测试。
电路原理如图1所示，采用匹配型SPST的宽带开关电路拓扑，开关臂两端分别串联吸收电阻器和开关MESFET并联的支路以及多只与主传输并联的开关MESFET组成，电路中采用了低色散、宽频带的共面波导传输线以展宽频率带宽。设计低插入相移功能的基本原理主要是利用相位相互抵消原理。即其电路物理概念为：串联支路感抗引入的相位滞后和并联支路容抗引入的相位超前相互抵消。电路设计时考虑的主要电性能指标为：
DC50GHz的频率范围；
设法获得***小衰减量及频带内衰减量起伏；
***小衰减量时的低输入/输出驻波；
***大衰减量及频带内衰减的平坦度；
***大衰减量时的低输入/输出驻波；
低相移衰减，尽可能小的衰减相移比。
电路设计采用AgilentEesof软件，为获得***佳电性能，不同的MESFET应选取不同的***佳栅宽，因此设计中采用了模型参数比例缩放技术。电路模型参数提取采用HPIC-CAP软件及相应的模型参数提取系统。由于设计频率高达50GHz，因而还采用了电路模型参数频率扩展和拟合技术以获得DC-50GHz开关MESFET电路模型的设计参数。
3 制作
芯片采用南京电子器件研究所离子注入圆片工艺线制作，采用离子注入工艺具有较高的成品率和长期工作稳定性。工艺包括Au/Ge/Ni欧姆接触金属化：0.5μm栅长Ti/Pt/Au肖特基势垒栅；N＋、N－注入；离子注入电阻；金属膜电阻；SiO2钝化膜；微带线；空气桥；通孔接地；背面金属化及电镀等。工艺成品率高达80％以上，芯片间和圆片间的电性能具较好的一致性。芯片尺寸为2.33mm×0.68mm×0.1mm。芯片照片如图2所示。信号输入/输出端均为共面波导接口，采用通孔接地和多重芯片钝化技术，可靠性高。控制端均靠芯片一侧，便于安装使用。
4 性能
电性能测试采用HP8510C矢量网络分析仪和CascadeMicrotech微波探针台组成的微波在片测试系统。测试的各种电性能参数如***小衰减；***小衰减时的输入/输出驻波；***大衰减；***大衰减时的输入/输出驻波；***小衰减与***大衰减的相移差。当V1为0V，V2为负极性的FET夹断电压VP时，对应***小衰减态。当V1为VP，V2为0V时，对应***大衰减态。当V1从0V逐渐减小到VP，V2从VP同步逐渐增加到0V时，衰减量从***小变化到***大，反之亦然。芯片通过了高、低温储存，高、低温冲击，高、低温工作，键合，剪切和工作环境温度为125℃的1000小时工作寿命等实验。
5 结论
开发成功的低相移、多功能DC50GHz高性能MMIC压控可变衰减器,具有良好的电性能、较高的工艺成品率和高可靠性,达到了设计要求，具有一定的实用性。
BOBST 701-1091-03 PC BOARD*USED*
INDRAMAT MAC90C-0-GD-4C/?110-A-1/WI524/S?001 *USED*
GE DC300 DRIVE F31X300CCHAFGI CONTROL CARD DRIVE 531X30...
LOT OF 2 BLACK&DECKER 1 3/4" HS 1 1/2" *USED*
LOT OF 2 BLACK&DECKER 1 1/8" 29MM *USED*
MAC 92B-AAB-000-DM-?DJAP-1DG *USED*
ARMSTRONG C5297-27 STEAM TRAP 881 3/4NPT 1/8 125# *NEW ...
ARMSTRONG C5297-46 STEAM TRAP 880 3/4NPT 1/8 *NEW IN A ...
POTTER & BRUMFIELD KB-23AG-120 *USED*
HPS PH250MQMJ *NEW IN BOX*
LOT OF 90 WEIDMULLER WDU2.5/1.5/ZR TERMINAL BLOCK (TAN)...
PARKER M20424120 VALVE *USED*
VICKERS COIL 02-178106 120VAC *USED*
DIVERSIFIED ELECTRONICS INC. ARA-24-ADA ALTERNATING REL...
ALLEN BRADLEY 700-CF310* SERIES A 110V *USED*
MERCER 490-017 PROBE *NEW*
JAN-FAN JF-AK *NEW IN BOX*
MICRO SWITCH FE-LC3-CC *NEW IN BOX*
WEIDMULLER COMPUTER INTERFACE 120VAC, 5A(MAX) *NEW OUT ...
ALLEN BRADLEY 193-A5K3 SERIES A *USED*
FANUC A06B-0522-B-041 *USED*
MIKIPULLEY OP-1 *USED*
STC 7937-8194 VIBRA PULSE BOARD
BANNER MINI-SCREEN MSE824 *USED*
ARO MQ26O9 *USED*
STROMBERG 57168170 *USED*
CONTROL PANEL D-L8033 *NICE*
ELECTRO CAM EC-3004-10-ALO *USED*
WHITNEY CO. 151SR PNEUMATIC ACTUATOR *USED *
KUNKLE 6283FEM01-LM *USED*
ELECTRO-SENSORS DSC-10CA *NICE*
WESTERN SCALE DF1000 *USED*
ALLEN BRADLEY 440R-B23020 SERIES C *USED*
EUCHNER SN 05 R08-552 *USED*
AEG 170 BDO 342 00 *USED*
GE CONTROL CR115E/61122 *USED*
MAX-AIR UT25-0DAD31 *USED*
VOGEL M2/S4 900178305 *USED*
SEW-EURODRIVE D-7520 *USED*
TAISEI KOGYO CO. LTD. ISF-04 SUCTION FILTER *USED*
RACINE FD4 DSHS3101S301850 *USED*
TOLEDO SCALE 1996 *USED*
YARWAY 711 721 *USED*
ALLEN BRADLEY 837-A6A SER.A *USED*
AC TECH BOARD 960-305X *USED*
THORNTON 770PC MULTIPARAMETER CONTROL *USED*
GENERAL ELECTRIC 1D18G202 *USED*
HUBBELL PUL-175H-128 LIGHT WALLPACK *USED*
DATALOGIC C-BOX100 *USED*
BALDOR L3502 115/ 206-230V MOTOR *USED*
FANUC A02B-0091-C113 *USED*
PEPPERL + FUCHS NMB8-30GM85-US-?FE-V12 *USED*
LOT OF 2 ALLEN BRADLEY 42GRR-9003 SER.A PHOTOSWITCH *US...
TELEMEANIQUE LC1D0910 WITH MA1DN11 120V *USED*
ALLEN BRADLEY 42EF-B1MPBE-F4 SER.A *USED*
LOT OF 2 CORCOM 3VR1 F7198 250V *USED*
LOT OF 2 TURCK Ni5-G12-AN7X *USED*
PARKER 924452Q 5Q YH *NEW IN BOX*
REXNORD REX80TFR10BX *NEW IN A BOX*
NORGREN K41DA00-KA1-KA1 *USED*
BALLUFF CY9ANE00PY050M CABLE
ALLEN BRADLEY 440K-T11202 SERIES B *USED*
MODICON AS-H827-209 *USED*
TELEMECANIQUE XCS-ZP7005 *USED*
JOKAB SAFETY JSBRT11 SAFETY RELAY *USED*
SCHNEIDER AUTOMATION INC. 140 DAO 842 10 *USED*
SQUARE D 9070T50D4 *USED*
ALLEN BRADLEY 42GRR-9003 SER.B PHOTOSWITCH *USED*
PEPPERL + FUCHS MPF6HD *USED*
VICKERS COIL 617489 115V60 *USED *
FESTO DSNU-12-25P-A *USED*
TELEMECANIQUE XSA-A05521 PROXIMITY SENSOR *USED*
SQUARE D FA32030 CIRCUIT BREAKER *USED*
SIEMENS 6ES5 430-7LA12 *USED*
PARKER GP10A *USED*
RILEY CORP. MODEL 420L CURRENT SENSOR *USED*
SQUARE D 9070-AA0-50 *USED*
MAC VALVE INC. 6311D-000-PP111?DA SOLENOID VALVE *USED*
TURCK NI15-S30-RZ3X 7M *USED*
PARKER HYDRAULIC VALVE D1SE83BNJW *NEW OUT OF BOX*
SIKO MA02-0101 *USED*
BIMBA RSU-1 CYLINDER SWITCH *USED*
MICRO SWITCH 0P-AR *USED*
DECCO COIL 9-22 115/60 *USED*
IFM IG5822 *USED*
EFECTOR IF5908 *USED*
EFECTOR SENSOR PB5224
EFECTOR II0227 PROXIMITY SWITCH *USED*
EFECTOR II0295 PROXIMITY SWITCH *USED*
EFECTOR II5785 *USED*
EATON HEINEMANN CF3-G8-AB0015-1?08 CIRCUIT BREAKER
HOLJERON ZL.S-DK101-35 POWERED ROLLER SENSOR *USED*
***C SY7140-3DZ PNEUMATIC VALVE *USED*
SIEMENS 3RH1140-1BB40 *USED*
ABB K16A *USED*
POTTER & BRUMFIELD KRPA-14AG-120 *NEW IN BOX*
EDDY TAC II 08-2005-0653 CURRENT BRAKE CONTROLLER
ZENITH PUMPS 11-55660-3012-0 *NEW OUT OF BOX*
OMRON DTS-100VAC SOLID STATE TIMER 100VAC *NEW IN A BOX...
LOT OF 7 GE FANUC IC610MDL125A *USED*
ALLEN BRADLEY 871C-P15B30 SER.A *USED*
OMRON E2E2-X2Y1-M4 PROXIMITY SENSOR *USED*
PEPPERL + FUCHS NBB5-F33M-A2 *USED*
CUTLER-HAMMER A10CN0 SER.A1 120V *USED*
LOT OF 2 TELEMECANIQUE LB1 LB03P05 *USED*
ALLEN BRADLEY 700DC-M310* SERIES A 24V *USED*
FPE 2B100 CIRCUIT BREAKER 120 / 240VAC *USED*