电子光电行业超纯水制取设备
电子半导体行业水质标准:
我公司电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ. cm、15MΩ. Cm、10MΩ. Cm、2MΩ. Cm、0.5MΩ. Cm、五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。
电子工业对水质的要求:
微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。
应用场合:
半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;超纯材料和超纯化学***;实验室和中试车间;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏;高品质显像管、荧光粉生产;半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。
典型电子级超纯水制备工艺:
预处理┄反渗透┄水箱┄阳床┄阴床┄混合床┄纯水箱┄纯水泵┄紫外线杀菌器┄精制混床┄微孔膜过滤器┄用水对象
预处理┄一级反渗透┄pH调节装置┄中间水箱┄二级反渗透┄纯水箱┄紫外线杀菌器┄微孔膜过滤器┄用水对象
预处理┄二级反渗透┄中间水箱┄水泵┄EDI装置┄纯水箱┄纯水泵┄紫外线杀菌器┄微孔膜过滤器┄用水对象 新工艺
预处理┄二级反渗透┄中间水箱┄水泵┄EDI装置┄纯水箱┄纯水泵┄紫外线杀菌器┄抛光混床┄TOC分***┄微孔膜过滤器┄用水对象 ***新工艺
部分产品规格:
型号 |
产水量(M3/H) |
管径(mm) |
工作压力(MPa) |
材质 |
主体工艺 |
MOLELECTRON-0.5 |
0.25 |
Dn20 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-1 |
1 |
Dn25 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-2 |
2 |
Dn32 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-3 |
3 |
Dn40 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-5 |
5 |
Dn50 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-10 |
10 |
Dn75 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-20 |
20 |
Dn100 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-30 |
30 |
Dn125 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-40 |
40 |
Dn150 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
MOLELECTRON-50 |
50 |
Dn200 |
=1.6 |
不锈钢/碳钢 |
全自动/半自动 |
二级反渗透+混合离子交换器高纯水制取工艺流程示意图
部分大学类客户 |
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清华大学 |
北京大学 |
西南大学 |
宁波大学 |
同济大学 |
湖南大学 |
苏州大学 |
云南大学 |
上海复旦大学 |
上海交通大学 |
武汉理工大学 |
重庆医科大学 |
西安交通大学 |
重庆三***大 |
中国地质大学 |
湖北工业大学 |
中国海洋大学 |
重庆邮电大学 |
中国农业大学 |
南京师范大学 |