仪器简介：
VEGA 3 GMU/GMH是一款以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析***为特点的独创设计,其超大的样品室和多功能接口将支持分析更多普通扫描电镜无法分析的样品。
1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计，提供了多种工作模式和显示模式。
2.成像速度快。
3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和***的固定光阑。
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。
5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。
6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小，
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用***的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。
2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可***式或连续式的调整。
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing)：提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐去噪声
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。
VI.量测功能：提供量测任意两点的距离，量测任意夹角，不规则形状的面积和周长，划指示箭头，写说明文字等13种图像量测的功能
VII.图像存盘：
1).浏览已储存图像的相本。
2).找寻已储存图像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的图像均可处理。
13.***的分析品质;
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定：可以设定***次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。
技术参数：
1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
(背散射电子): 3.5 nm at 30 kV
低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kV
2.放大倍数:1 to 1000000×
3.真空系统: 低真空3~2000Pa
4.加速电压0.2KV to 30KV
5.电子束电流1pA—2uA
6.样品室内部尺寸:340mm(宽) x 315mm(深)
7.样品台行程:(5轴马达控制）
X=130mm
Y=130mm Z=100mm
T=-80°到+90°
R=360°连续可调
***大样品高度145mm.
*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜
主要特点：
国内***使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
5.采用内置主动式电磁减震系统，大大减少了对安装环境的要求.
6.***的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
7.20个以上外扩展接口，以及特殊的多功能接口，可安装多款辅助附件
8.可对SEM进行远程控制
9.***适合体积和重量大，不方便切割的样品观察和研究。