洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。所谓静电，是由于摩擦等原因***了物体中正( )负lt;一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；1．静电电引起的静电，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受而摔倒，实验室，由摔倒又致伤)；2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，实验室通风，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
在加湿问题上还有一个应注意的问题就是空调器内空气流动带水的问题。有的工程中由于加湿的带水问题没有处理好，实验室多少钱，结果后面的中效过滤器甚至***过滤器都被携带的水打湿了。对于干蒸汽加湿器也要注意蒸汽管和凝结水管的坡度和坡向问题，要使凝结水迅速地排到空调器外。若加湿器设在空调器的风机段内，还应采取措施避免凝结水滴到电机上，造成电机短路断电。光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案
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