***中含碳杂质检测仪
***是合成***的主要原料之一。***中的含碳杂质直接影响到合成***中碳杂质含量,从而影响多晶硅的各项理化指标。检测***中的含碳杂质在西门子法制造多晶硅工艺上有着重要的作用及意义。我公司采用氢火焰离子检测器测量***中含碳杂质的含量。
用气体采样袋采取***气化后的气体供气相色谱仪测定。采用不锈钢填充柱分离样品，氢火焰离子化检测器（FID，配镍转化炉），外标法定量。***中含碳杂质主要为***、***、二氧化碳。3种组分在15min完成分离分析过程。3种组分的体积浓度分别在一定的范围内与其峰面积呈线性关系。
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