双束电子显微镜 Nvision 40

CrossBeam 工作模式：蚀刻、抛光过程中的高分辨率实时成像

采用GEMINI镜筒实现高分辨率成像

超高精度的聚集离子束(FIB)

自动化的透射电子显微镜(TEM)样品制备软件包

采用镜筒内置式EsB探测器，获得更好的组分像

技术参数：

技术参数：

分辨率：           电子光学                                       FIB

                        1.1nm @20kv                         NEON：        7nm@30kv

                        2.5nm @1kv                           NVision40： 4nm@ 30kv

加速电压：       0.1-30kv                
                                                                       NEON：        2-30kv

                                                                       NVision40:    5-30 kv

                                                                                            1-5 kv(opt.)

束流：              NEON：   12-900kx                NEON：        1pA-50nA

                         NVision40：4pA-20nA           NVision40:     0.1pA-45nA
 
放大倍数：       NEON：4pA-10nA                  NEON：        600x-500kx

                         NVision40：30x-900kx           NVision40： 475x-500kx

发射源：           热场发射                                Ga液态金属离子源(Ga LMIS)

标配探测器：    In-lens二次电子探测器与样品室内ET探测器

图像处理模式：7种积分平均模式

操作界面：       基体Windows XP 的***artSEM