概述：所有电机设计、清洁都是在超高真空标准的ISO Class7级洁净室内手工完成。标准电机配有不锈钢轴承（采用美国NYE公司NyeTorr6300超低释气的超高真空润滑脂），对于一些低功率应用场合，不允许采用选用带有二硫化钼干润滑氮化硅陶瓷球的“H”选项的混合轴承。
D系列真空高低温步进电机型号及参数：
| 型号 | 保持扭矩 | ***转矩 | 惯量 | ***大轴向力 | ***大径向力 | 重量 | 电流 | 相电阻 | 相电感 |
| mNm | mNm | gcm2 | kgf | kgf | g | A | Ω | mH | |
| D35.1 | 70 | 8 | 10 | 9 | 15 | 190 | 1.0 | 4.7 | 3.8 |
| D42.1 | 180 | 8 | 35 | 9 | 15 | 350 | 1.0 | 5.3 | 6.6 |
| D42.2 | 360 | 14 | 68 | 9 | 15 | 470 | 1.0 | 6.8 | 10.5 |
| D42.3 | 450 | 20 | 102 | 9 | 15 | 610 | 1.0 | 8.5 | 19.5 |
| D57.1 | 800 | 30 | 300 | 13 | 40 | 700 | 1.0 | 10.5 | 27.0 |
| 特点 |
真空度：<1x10^-10 mbar=1x10^-8Pa 防辐射量：1x10^6 Gy 工作温度： -196ºC 到 +175ºC / -65ºC 到 +175ºC 温度传感器： 嵌入'' K ''热电偶或者PT100传感器 烘烤温度：200℃ 电缆长度：1.5米 轴承：可选陶瓷轴承 步距角：1.8º（两相步进电机） 输出轴：可定制双出轴，螺纹轴（需提供草图） 配套42，57型真空减速机 |
||||||||
接线图及电机尺寸图
详细请联系北京星微自动化科技有限公司销售人员