为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子，还要在系统运行中，真空泵，定期清洗除油，增加了成本运行。因此，无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景，是着重商业化的对象。
国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境，XD真空泵厂家，无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质，还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴，带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。
为了进一步加大对生产力效率提升，要运用好螺杆式真空泵产品的性能优势，在增强其全l面带动的产品实力上，加快其整体运用及性能发展的产品优势，使其在各方面运用的突出其产品应用能力的提升，以整体发展的运用优势不断增强其设备实用效果的能力，在带动其产品价值性能提升的应用过程中，完善其产品优势可靠的品质性能。间隙测量应当认真、精l确，除***l具应经校准符合规定精度外，工件应清洗、凉干，一般重复测量几次。做好记录。然后综合泵的各方面情况，水环式真空泵，决定修磨尺一‘。试抽测该泵性能时，热偶真空计等相对规应进行校准。它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达670~1000Pa。用油作工作液时称为油环泵，极限真空可达130~670Pa。卧式真空机组也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2x105Pa表压力。
多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵，由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等，在电子行业得到了非常广泛的应用，替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能***而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业，并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式，其结构各有优势，旋片式真空泵，相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小，不能够满足化工和制药等大抽速的需要
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