主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等国际品牌 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供***级射频电源维修***。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
Ion Beam Drive : ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500 RF ( 射频系列 ) :
RFG : RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV ; APEX : Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7kW/13 、 Apex 10kW/13 、 Apex 3513 、 Apex 10013 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F ; RFX : RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX ; RFX II : RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ; HFG : HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M ; HFV : HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW ; Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162 ; ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW ; Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150