IRA 3 GMU/GMH是TESCAN***新推出的场发射扫描电子显微镜系列中样品室***大的一款,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析***为特点的独创设计。
技术参数：
1. 分辨率:高真空(二次电子)1.0nm at 30kV
(背散射电子): 2.0 nm at 30 kV
低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV
2.放大倍数:1 to 1000000x
3.真空系统:电子枪真空<3*10 -7Pa
样品室/低真空7-500Pa
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流2pA—200nA
6.内部直径: 340mm
接口数: 20+
7.样品台行程:（5轴马达控制）
X=130mm——马达控制
Y=130mm——马达控制
Z=100mm——马达控制
R=360°连续--马达控制
T=-80°至+90°--马达控制
***大样品高度145mm.
主要特点：
国内***使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便寻找样品位置;
3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD).
4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却。
6.采用内置的主动式电磁减震系统，大大减少了对环境的要求。
7.***的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
8.20个以上外扩展接口，可安装更多的附件
9.可进行远程控制