扫描电镜

技术参数：

1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv 
               (背散射电子): 3.5 nm at 30 kV
         低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kV 
2.放大倍数:1 to 1000000× 
3.真空系统: 低真空3~2000Pa
4.加速电压0.2KV to 30KV 
5.电子束电流1pA—2uA 
6.样品室内部尺寸:340mm(宽) x 315mm(深)

7.样品台行程:(5轴马达控制） 
X=130mm 
Y=130mm                                                                           Z=100mm 
T=-80°到+90° 
R=360°连续可调
***大样品高度145mm.

*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜