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电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，等离子净化器零售，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。等离子净化器这类负离子具有很好的化学活性，三河等离子净化器，在化学反应中起着重要的作用。

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等离子净化设备工艺流程：低温等离子净化器在废气处理工程中的应用较为广泛，其主要工艺流程主要由以上六大部分组成。气体收集系统—预处理喷淋洗涤系统—低温等离子净化系统—深度气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体收集系统主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统。具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。