





净化间的简介
净化原理编辑气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→***净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
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净化间的照明方式
这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式:(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要,万级净化间生产厂家,为照亮整个被照面积而设置的照明。(2)局部照明这是指为增加某一地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%,但不低干150LX。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(LX)。
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净化间的温度
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,万级净化间,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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