PECVD石墨舟-石金科技有限公司-PECVD石墨舟批发

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟置于炉管中，紧贴炉管外壁设有弧形进气管，弧形进气管沿炉管壁表面设有直通炉内的进气小孔，所述进气小孔正对石墨舟上的石墨舟片之间的缝隙，所述弧形进气管上设有总进气管；本实用新型可以使特气通过总进气管进入炉管上的弧形进气管中，在弧形进气管中进行再分布，然后通过进气小孔进入炉管内的石墨舟，均匀的充斥在石墨舟片之间的缝隙中，在硅片表面均匀分布，能够一定程度上减少PECVD色差片的产生。

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PE镀膜后四周发白浅析，近期经常接到客户咨询，PECVD石墨舟厂家，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了第1个循环后，清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。

附下图颜色与膜厚的关系

一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色，通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后，PECVD石墨舟，就会得到我们需要的工艺颜色。

客户所说的四周发白，PECVD石墨舟批发，可以理解成膜厚偏厚，假如建一个基准以77-83为正常膜厚，小于77很多可以理解成红片，大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的，现在客户反应的是偏白，就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

国产石墨舟的生产技术水平已经达到甚至超过进口坩埚，优质的国产坩埚具有以下特点：

1、石墨舟高的密度使得坩埚具备了z好的导热性能，其导热效果明显优于其他进口坩埚；

2、石墨舟外表有特别制作的釉层和致密的成型材料，大大提高了产品的耐腐蚀性能，延长其使用寿命；

3、石墨舟中的石墨成分全部采用天然石墨，导热性非常好。石墨舟加热后不可立刻将其置于冷的金属桌面上，以避免它因急剧冷却而断裂。