石墨舟装片房：用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及***过滤器，确保吹出的空气达到净化要求。
工作原理：
空气通过***过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。
关于PECVD石墨舟工序标准物质的使用?
关于标准物质，大家都知道在计量时是做标准件使用的，石墨舟本文中讲到的标准物质将这一标准物质进行了详细化。
例如在PECVD工序主要操作是使用机器手进行工作，因此所提及的标准物质为标准机械手、标准石墨舟及标准上料小车三部分。
众所周知，机械手会有相应的准确度，在使用一段时间后，PERC电池石墨舟厂家***，会由于使用的原因会造成一定的偏差，因此会造成在上料过程中夹石墨舟会倾斜，造成摔片现象。因此需要对机械手进行定期的校正，PERC电池石墨舟，但是由于技术方面的问题，我们不能总是去调整机械手，所以我们将问题转向方便调整的石墨舟及上料小车上。
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石墨舟置于炉管中，PERC电池石墨舟批发，紧贴炉管外壁设有弧形进气管，PERC电池石墨舟供应，弧形进气管沿炉管壁表面设有直通炉内的进气小孔，所述进气小孔正对石墨舟上的石墨舟片之间的缝隙，所述弧形进气管上设有总进气管；本实用新型可以使特气通过总进气管进入炉管上的弧形进气管中，在弧形进气管中进行再分布，然后通过进气小孔进入炉管内的石墨舟，均匀的充斥在石墨舟片之间的缝隙中，在硅片表面均匀分布，能够一定程度上减少PECVD色差片的产生。
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