中图仪器激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦***激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。
中图仪器激光干涉仪技术参数：
系统性能
测量方式：单频
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%
存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器：&plu***n;0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料温度传感器：&plu***n;0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空气湿度传感器：&plu***n;6% (0-95%)
大气压力传感器：&plu***n;0.1kPa
线性测量
测量距离：0-40m
测量精度：0.5ppm (0-38℃)
测量分辨率：1nm
测量***大速度：4m/s
中图仪器激光干涉仪标准配置：
SJ6000主机：1台
环境补偿单元：1台
光学镜组：
线性测量光学镜组：1套（标准配置）
小型线性光学镜组：1套（选配）
小角度测量光学镜组：1套（选配）
直线度测量光学镜组：1套（选配）
垂直度测量光学镜组：1套（选配）
平面度测量辅助附件：1套（选配）
回转轴测量精密转台：1套（选配）
测量软件：1套
便携式笔记本电脑：1台
便携式仪器配件箱：1个
通用三脚架：1个
云台附件：1套
磁性表座：2套
产品使用说明书：1套
产品合格证、保修卡：1套
免费保修：1年
校准证书（选配）
激光频率校准证书：
1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
2）由其它机构出具。
环境补偿单元校准证书：
1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
夏、冬实验室工作服各1件（选配）。
中图仪器激光干涉仪应用：
1. 位移传感器
激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势，其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比，位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对***移进行测试对比，得出往复测试实验结果。
2. 数控机床检定中的应用
随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行***精度检测已经成为目前公认的***、高精度的检测方法。激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量、误差修正和控制，其中双频激光干涉仪应用***多。与传统的检定方法相比，激光干涉仪具有较高的精度和效率，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据，位置精度是机床的重要指标，目前各国机床检定标准中都推荐使用激光干涉仪。双频激光干涉仪在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。
未来，激光干涉仪可从光源、探测器、信号处理系统、光学系统等方面进行发展，从测量数据的可靠性、***性，以及测量仪器的便携性等，不断改善激光干涉仪的各项性能。
