安捷伦分子泵驱动器-潽拓光电(在线咨询)-肇庆安捷伦分子泵

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广州潽拓光电科技——爱德华涡轮干泵密封条XDS5/10

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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON

INFICON皮拉尼复合真空计

产品型号：BPG400

I

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制，从低至超高真空范围

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

很好的重复性，压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整，肇庆安捷伦分子泵，减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件，保证高度重复性

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皮拉尼规

（PSG 400， PSG400-S， PSG 100-S， PSG 101-S）

皮拉尼/冷阴极规

（PCG400， PCG400-S）

冷阴极规

（PEG100）

热阴极规

（BAG100-S， BAG 101-S）

热阴极/皮拉尼规

（BPG400）

线性规（电容规）

（无传感器）