




特种气体系统的设计与施工
管道系统的设计
1.材料的选择
特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。
2.主管路系统的设计
在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路***1短,拐弯***少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定,基本都采用小管径输送(1/4-3/4)而且多设计了备用系统。
特种气体:高纯氯1气
高纯氯1气应用
高纯氯1气主要用于液晶平板显示器、光纤和半导体行业,被用作蚀刻气体和脱水剂,工业特种气体多少钱,而其中光纤行业用量较大。光纤***1主要参数是损耗,无论是石英光纤还是浮化玻璃光纤中的损耗,主要是由OH-阴离子、过渡金属离子和稀土金属离子引起的。因为光散射、光吸收主要是由OH-产生的,所以必须脱除光纤中的OH-离子。为了降低损耗,处需要光纤制造系统精良和所有原材料纯度高外,其关键是在制造光纤工艺中通入高纯氯1气,有效除去OH-离子。因此,高纯氯1气是生产光纤不可或缺的原材料。
特种气体系统的设计与施工
特气输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是:气源→控制柜→管道传输→用气点
分类
特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易1燃易1爆气体、有***体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。
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