1753-L32BBBP-8A
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PLC控制系统主要由输入部分、CPU、采样部分、输出控制和通讯部分组成，如图1所示。输入部分包括控制面板和输入模板；采样部分包括采样控制模板、AD转换模板和传感器；CPU作为系统的核心，完成接收数据，处理数据，输出控制信号；输出部分有的系统用到DA模板，将输出信号转换为模拟量信号，经过功放驱动执行器；大多数系统直接将输出信号给输出模板，由输出模板驱动执行器工作；通讯部分由通讯模板和上位机组成。
因为PLC本身的故障可能性***，系统的故障主要来自外围的元部件，所以它的故障可分为如下几种：
（1）输入故障，即操作人员的操作失误；
■传感器故障；
■执行器故障；
■PLC软件故障
这些故障，都可以用合适的故障诊断方法进行分析和用软件进行实时监测，对故障进行预报和处理。
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厦门泰尼电气有限公司
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A***L 4022.430.1225 T Measurment Module Board SVG
Tokyo Electron 3208-000095-13 PCB PST OPT
Global-Wulfsberg System GNS-500A Loop Coupler Unit
A***L Fiber Optics cable Lot of 17 SVG CSLG
A***L 4022.471.5201 Board SVG
Spin Chuck Coater 90 Ser 200MM 38463-01 SVG 90S
Arn*** Systems inc. Model R-60 453-0096 V601C
Applied Material AMAT 321-0010
NEW SVG/A***L 859-8146-001 C Board
SVG/A***L 859-0942-005 B A1209 BOARD
A***L 4022.456.4013 1 8” Wafertable CC Flat MN C2991349
SVG/A***L 859-0942-005 A A1209 BOARD
A***L 4022.471.5745 Module Board SVG
A***L/SVG 4022.471.5457 Power Amp. Controller
A***L 4022.471.5825 Module Card SVG
A***L 4022.471.6555 New SVG Board
Tokyo Electron TVB0004-1/147CON P8/P8XL/P8XLT/P-8 TEL
Tokyo Electron TVB3102-1 SIO P8/P8XL/P8XLT/P-8 TEL Card
Tokyo Electron TVB3401-1 GPIB P8/P8XL/P8XLT/P-8 TEL
Tokyo Electron TVB6004-1 QMC3 P8/P8XL/P8XLT/P-8 TEL
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SVG/A***L 923-8067-002 01 Isolation Control Signal Board
LAM Research 810-017031-004 Board Believe to be New
A***L/SVG 4022.481.81541 Site Dep. Parts AT-T
Tokyo Electron 3281-000146-12 PST-STD P8/P8XL/P8XLT/P-8
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A***L 4022.481.81953 Atlas Vacuum Regulator NEW SVG
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FairChild MUX/CLMP 97437018-4
Spin Chuck 200MM Special 99-46702-01 SVG 90S Coater
Spin Chuck 200MM 99-23217-01 SVG 90S Coater
New Depro Oxygen Monitoring System Model A600
A***L 4022.484.9234 Coil Assembly SVG
A***L 4022.486.5715 Coil Assembly SVG
TEL 1D10-309697-11, 1D10-407114-11 and 1D10-406499-11
A***L 4022.454.7394.2 WG-UV Filterhalter 400c Zeiss SVG
A***L 4022.471.5701 SVG Board
New Lam 810-015987-101 Assy., PCB, TCP Autotune Board
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controllr SEC-4400M CH3OH
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M SF6
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M O2
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M O2
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M He
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M CF4
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controll SEC-4400M CH3OH
A***L 4022.470.4050 Status Manual Overide Unit SVG
A***L/SVG 4022.436.5270 IIB Board
Preco 170-070 1B PCB, SPU Processor (6 boa*** total)
A***L 4022.437.0053 Motor Control 1 + 1 mb
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400MC-UC
TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400MC-UC
A***L 4022.471.4684 Module Board SVG
A***L 4022.471.6240 Module Board Agilent SVG
A***L 4022.435.0558.2 Lamp Optics Lens
AMAT Wafer Pallet hold 4 6” wafers 057-03-0292
SVG/A***L 866-0054-001 Optical glass item
A***L/SVG 4022.470.1998 SHB MDC 4022.470.4359
Applied Materials AMAT System Controller Power Supply
Tokyo Electron TEL D123021 Quartz Sleeve Bell Jar
A***L/SVG 4022.471.99062 PAAC 550V/25A