1753-OB16

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PLC控制系统的故障诊断方法

　　PLC控制系统故障的宏观诊断

　　故障的宏观诊断就是根据经验，参照发生故障的环境和现象来确定故障的部位和原因。PLC控制系统的故障宏观诊断方法如下：

　　■是否为使用不当引起的故障，如属于这类故障，则根据使用情况可初步判断出故障类型、发生部位。常见的使用不当包括供电电源故障、端子接线故障、模板安装故障、现场操作故障等。

　　■如果不是使用故障，则可能是偶然性故障或系统运行时间较长所引发的故障。对于这类故障可按PLC的故障分布，依次检查、判断故障。首先检查与实际过程相连的传感器、检测开关、执行机构和负载是否有故障：然后检查PLC的I/O模板是否有故障：***后检查PLC的CPU是否有故障。

　　■在检查PLC本身故障时，可参考PLC的CPU模板和电源模板上的指示灯。

　　■采取上述步骤还检查不出故障部位和原因，则可能是系统设计错误，此时要重新检查系统设计，包括硬件设计和软件设计。

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SVG/A***L 859-0158-002 #4 Segment Mirror Assy     
      
 A***L 4022.437.1455 Board SVG     
      
 A***L/SVG 4022.4022.456.2​982.2 Eir Heat Exchange     
      
 A***L 4022.436.2801 SVG Board/Card     
      
 A***L 4022.470.8125 RH Option Supply Rack ROSR     
      
 TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M     
      
 TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M     
      
 Optical Beam Splitter Cube Pri***     
      
 A***L/SVG Optical Item 854-0141-001     
      
 A***L Lithography B.V. 4022.502.25208 Blue Mirror/40     
      
 Zeiss Beleuchtung Starlith 400 A***L 4022.455.84271     
      
 Zeiss Beleuchtung Starlith 400 A***L 4022.455.84291     
      
 Horiz Situation IND Model Rd. 700 4033169-902 Sperry     
      
 KLA Tencor Extender Card 710-711345-00     
      
 A***L 4022.430.1800 Motor Assy.     
      
 TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M N2     
      
 A***L 4022.486.55123 Pressurized Glass SVG     
      
 Tokyo Electron WZ10-100360-11 Teaching Jig Window TEL     
      
 SVG/A***L 879-0008-003 Optical Assy.     
      
 A***L 4022.431.3185.1 Lamp Optics Lens 106524-8007     
      
 A***L 4022.470.8825 Module Card SVG     
      
 A***L/SVG 923-8244-001 Power Supply ***C     
      
 A***L 4022.480.0101 AWH Gripper Wrist LP Assembly SVG     
      
 TEC SEC-4400 Series Mass Flow Controller SEC-4400M He     
      
 A***L 4022.430.1422 Power PL Module SVG     
      
 A***L 4022.430.6602 Brushless Servomotor SVG     
      
 A***L 4022.471.6829 4 Channel Amp Control PPCA     
      
A***L/SVG 4022.471.5027 TCB Syncbus Trigg      
      
 Zeiss Beleuchtung Starlith 500 A***L 4022.454.54492 SVG     
      
 A***L/SVG 4022.502.29089 Emission Detection Assy V.L     
      
 SVG 302-13393-00-1 Spin Chuck A***L     
      
 SVG Spin Chuck A***L     
      
 A***L 4022.471.4706 SVG T. Measurment     
      
 A***L 4022.437.0218 LEV. SENS. DEMO     
      
 New LAM 810-017004-1/81​0-017004R001 Solenoid Interlock     
      
 A***L 4022.486.19531 ABR Unit AT/XT     
      
 Precision Cryogenic Liquid Nitrogen Reservoir Vessel     
      
 New LAM 810-17016-001 Etcher Stepper Motor Drive     
      
 MDC Vacuum Products Corp. K075-SBLM-4     
      
 Global-Wulfsber​g Systems DTU 43000-01-01-3     
      
 SVG/A***L 859-9404-003 Vacuum Chuck     
      
 SVG/A***L 879-0014-002 Vacuum Chuck     
      
 New LAM 605-017016-100 PCB Stepper Motor Drive Chip     
      
 Lambda Alpha 1500W H07019 Power Supply     
      
 EZI Dry20 Dry Compact 2.0     
      
 Lam Research Wafer Chuck     
      
 Keyence Corp PHOTOELECTRIC SET LX-130R AND LX-130T     
      
 A***L 4022.436.46005 Wafer & Reticle Stage Rack SVG     
      
 Manual Gate Valve Helium Leak Tested HTE     
      
 A***L 4022.631.46912 Bale 1400 Servo Assembly SVG     
      
 Kachina Semiconductor 16-3029-001 2 Plenum-Shower TEL     
      
 A***L 4022.484.72232 AWH Gripper Wrist LP Assembly SVG     
      
 A***L 4022.486.57153 ATRS XT2 SSY Coil Assembly SVG     
      
 Nikon Optistation 3 MST PCB 2S700-55 (2S015-064-4)     
      
 A***L/SVG Module 4022..436.1064     
      
 Tokyo Electron Suscepter 16-0126-007 SUSC 150mm on 200     
      
 A***L 4022.486.5364 Optic mirror and sensor SVG