等离子废气处理设备是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
1、处理工业废气、集尘等比较好的环保设备是洗涤塔。在可浮动填料层气体净化器的基础上改进而产生的，布袋除尘设备的价格，广泛应用于工业废气净化、除尘等方面的前处理，净化效果很好。洗涤塔主要应用于空气污染防治工程、集尘处理系统工程及油烟处理管道抽风等工程。 2、燃烧法 。本法亦称为热氧化法、热力燃烧法，布袋除尘设备材质，主要用于高浓度VOCs废气的净化。对于自身不能燃烧的中低浓度尾气，通常需助燃剂或加热，能耗大，运行成本比催化燃烧法高10倍以上；运行技术要求高，不易控制与掌握。此法在国内基本上未获推广，仅有少数厂家引进国外治理设备运用于较高浓度和温度的制罐印铁业废气治理中，布袋除尘设备布袋材质，但终因能耗大及运行不稳定，难以正常运转。 目前处理有机废气的方法主要有吸附法、催化燃烧法、活性炭吸附 催化燃烧法等。考虑到方法的可行性、运行费用、设备***费用、以及二次污染等问题应选用适当的处理办法。
1现阶段我国工业废气治理VOCs工艺发展现状
通过吸收法对工业废气进行治理，是我国较为传统的一种治理方法。从原理上来看，吸收法就是在充分利用多种油类物质与VOCs互溶的特点，同时将高沸点、低蒸汽的油类作为吸收剂，来对VOCs废气进行吸收，布袋除尘设备，从而起到废气治理的作用。在实际的吸收法应用的过程中，通常采用填料洗涤吸收塔作为VOCs处理的吸收器，而吸收剂大多采用柴油、灯油、碳酸丙烯酯及等材料，针对VOCs废气的特点，还会增加一些活性剂或乳液来提升对VOCs废气的吸收效果。通过吸收法对VOCs废气进行处理，优点在于操作简单、治理成本不高，缺点在于治理效率较低，而且对相关废气治理设备造成一定的损害。
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