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伯东企业(上海)有限公司

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企业等级:普通会员
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企业概况

伯东公司成立于1953年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事......

上海伯东真空镀膜机专用polycold冷冻机

产品编号:6834257                    更新时间:2016-08-01
价格: 来电议定
伯东企业(上海)有限公司

伯东企业(上海)有限公司

  • 主营业务:德国Pfeiffer单双级旋片泵,干泵,罗茨泵,分子泵;应用...
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产品详情

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯东代理美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机,利用低温冷媒(-100度)通过盘管,将水蒸气吸附在冷盘上,快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机抽水气效率高达 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和真空镀膜行业,客户通过使用 Polycold 水汽深冷泵,产能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和***路配置满足您的不同应用,可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵,罗茨泵,干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold  MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款!~

Polycold 冷冻机应用
Polycold 冷冻机利用新型***环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点:
低温范围:-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
***的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力,从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2,Polycold 冷冻机选用***、环保型冷媒,可循环使用
低功率,低能耗,***大负载 4000 W

Polycold MaxCool 冷冻机组成
上海伯东 Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机

A:Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B:外部冷凝管(外部连接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盘(低温盘管)

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数:

标准性能

***大负载:Watts

4000

抽水汽效率(理论值):l/s

327,800

保守抽速:l/s

220,000

极限真空:mbar

7 x 10-8

启动压力:atm

1

除霜时间:分钟

5.5

低温盘管,连接管路

盘管表面面积:m2

2.2

单管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m


16
43

***路:
盘管直径:mm
盘管长度:m


16
21.9

标准外部连接管长度:m

2.44

配套设施

冷却水流量:rate l/min.
13 C˚
26 C˚

29 C˚


13.6
27.3
54.1

功率 kW

19.2

工作噪音(***大):db

78

占地空间(***小):m3

34

重量:kg

533

 

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率:

上海伯东 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

美国 Brooks 旗下 Polycold  冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区***指定***,***负责 Polycold 销售和***维修服务。

上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。

若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:

上海伯东:叶女士                            台湾伯东:王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                      F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267                  M: +886-939-653-958

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