PECVD石墨舟-石金科技有限公司-PECVD石墨舟设计

1组装现场准备工作做好后，领取石墨舟配件；

2将对应卡点装配如舟片，注意自检不要漏装，检测卡点装配质量合格后待用；

3石墨、陶瓷双头螺杆的一端旋入对应的螺母（螺帽）后待用；

4将备用的M6陶瓷螺杆传入舟片，PECVD石墨舟批发，平放在工作台面上，PECVD石墨舟，

6放置内舟片，注意每片安装检查舟片次序与标准实样舟一致、方向与外舟片一致（卡点、方框上下对应）；

7放置第二层陶瓷管，

8参考工步6amp;7一次类推，

9放置外片，目测舟片上下对应、位置正确，旋入螺母；

10依据标准实样，放置石墨舟两端隔块、穿入备用M8陶瓷螺杆amp;石墨螺杆

11将石墨舟翻转平放在工作台面上，旋入M8螺母（螺帽）；

12将石墨舟翻转，所有螺母（螺帽）少许松动；

13放入校正架卡槽内、靠上限位，然后将螺母（螺帽）用适当力度锁紧；

14从校正架取下石墨舟，目测检查外观。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨原子化器具有灵敏度高还有精度高、石墨舟使用寿命长等等的一系列的优点，可以说应该是一种性价比很高的产品。而且在现代使用过程测试已经是达到甚至是*先国内外的水平。所以说现代的大量的使用。当然我们需要注意的是，PECVD石墨舟设计，因为石墨原子化器在之前的很多地方都有很大程度的运用，因此自然就有很多生产的厂家，在质量上也是有所区别。因为现在很多厂家都有根据商家的订货加工，所以说用户完全可以根据自己的要求订购石墨管，可以符合自己的需要来使用。

168变196片，舟片间距肯定是要变化的，否则舟片间的电场强度就会降低很多。石墨舟的舟片间距和数量是对镀膜至关重要，PECVD石墨舟销售，增加了舟片就要相应的减少片间距，并增大射频电源的功率。你做168片的时候射频功率是2500W，建议做196提高到3000瓦试试。并且你的问题片只出现在中间靠近射频电源的地方很大的可能是石墨舟的问题，你的石墨舟电极突出一小部分这样会使电极和舟片间的电离强度增大，减小了这2片舟片间的沉积效果。电极隔块上的花纹就是放电沉积的结果，可以加的工艺气体流量看看是否有改善。设备应该是不存在什么问题的。