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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修
概要：
涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。
主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。
标准规格如下：
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广州潽拓光电——
为满足用户高真空下高抽量的要求，BOC Edward 公司研制出一种全新概念的真空泵——世界首台双模式真空泵。其独特的双模式方式使用户用一台泵既可以实现大抽量又可以实现良好真空。在科学领取，BOC Edward 公司的RV系列真空泵已经成为初级泵的选择。该泵性能独特，极限真空高，抽气量高低可选，噪音水平低，应用范围广，使其成为实验室的理想选择。
性能特点：
空气排出彻底，噪音小
稳定可靠性强
易于使用和维护
气镇调节，***的水蒸气处理性能
高真空，高抽量模式切换专利技术
应用领域
高真空模式
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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON
INFICON皮拉尼复合真空计
产品型号：BPG400
I
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制，从低至超高真空范围
优点
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)
很好的重复性，压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件，保证高度重复性
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