产品应用：
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
高功率测试
SP 系列是专为亚微米级分析测试而研发的探针台，包含6/8/12英寸三个不同型号，可应用于I-V/C-V测试、RF测试、mmW（毫米波/微波）测试、T-Hz测试、失效分析、晶圆或器件的特性测量、MEMS（微机电）等等的分析测试中。
SP 系列低***的结构设计，确保了台体在高精度测试下的稳定性。载物台移动基座采用高精度丝杆传动，配合高精度交叉滚柱导轨和直线导轨进行导向，实现了载物台亚微米级的空间***精度；同时，一体化的探针座放置平台，配合高刚性的支撑机构，整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，保证了测试探针的稳定性。显微镜的龙门支架及同轴移动基座，让显微镜***操作更加快速方便，同时还保持了超高的稳定性，为亚微米级的空间***精度提供了稳定的光学支持。
SP系列结构设计紧凑，如显微镜的同轴调节机构，载物台的真空驱动开关及快速拖出功能等，有效地提高了用户的操作效率。载物台Z轴细调行程为13mm，配合平台板Z轴行程45mm，使SP系列可适用于更多不同的测试配置和样片，满足更多的分析应用需求。
SP DS.pdf
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技术指标 |
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载物台(常规晶圆载物台） |
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尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
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材质 |
不锈钢 |
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平整度 |
≤&plu***n;2.5μm |
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真空区域* |
0，2"，4"，6"环形吸附** |
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真空控制 |
手动控制，***真空区域 |
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真空驱动方式 |
真空泵 |
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载物台电性能 |
载物台信号导通，可选择接地或接信号 |
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*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。 |
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载物台移动基座 |
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X-Y轴行程范围* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程 |
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精度 |
1μm |
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R轴粗调角度范围 |
360° |
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R轴细调角度范围 |
&plu***n;9° |
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微调精度 |
0.0001°/deg |
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Z轴细调行程范围 |
13mm |
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细调精度 |
1μm |
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Z轴快升行程 |
0~6mm, 可调 |
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Z轴往复精度 |
<1μm |
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*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。 |
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探针座放置平台 |
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材质 |
钢，表面沉镍处理 |
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平台板尺寸* |
可放置8个CM50或4个RF50探针座 |
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平台板至载物台高度 |
1.496”(38mm) （该参数待定） |
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探针座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 |
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Z轴细调行程范围 |
45mm |
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Z轴快升行程 |
350μm （该参数待定） |
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Z轴往复精度 |
<1μm |
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*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询***人员。 |
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显微镜移动基座 |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2"(50mm* 50mm) |
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X-Y轴精度 |
1μm |
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调焦行程 |
2"(50mm) |
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精度 |
1μm |
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Z轴粗调行程 |
100mm |
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气动升降行程 |
40mm |
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技术指标 |
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光学系统 |
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类型 |
金相显微镜，可选单筒显微镜 |
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光学放大倍数* |
20X-2000X |
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* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询***人员。
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其它信息 |
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台体尺寸 |
mm*mm*mm（W*D*H） |
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重量 |
kg |
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加热载物台(可选项） |
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尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
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温度范围 |
室温~300℃ |
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温控精度* |
0.5℃（典型值） |
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温度均匀性 |
0.5℃@6"载物台 |
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加热时间 |
<6min（室温~300℃） |
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标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。 |
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RF载物台(可选项） |
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尺寸 |
6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
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校准片载物台 |
2个（***真空控制） |
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尺寸 |
配套CS-5等尺寸的校准片 |
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校准片载物台角度调节范围 |
7° |
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材质 |
不锈钢 |
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平整度 |
≤&plu***n;2.5μm |
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真空驱动方式 |
真空泵 |
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其它扩展配件(可选项） |
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探针卡夹具 |
可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试 |
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激光器 |
1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。 |
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半自动控制系统 |
实现晶圆小批量半自动测试需求 |
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设备环境要求 |
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电源 |
220V&plu***n;10% |
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真空 |
-8bar |
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压缩空气 |
0.6MPa |
特别提示
1. “产品应用示例”栏目下的图示是为方便客户理解产品应用而拍摄的产品应用示意图片，实际销售的商品配置，请您参考“产品配置说明”或咨询我司***人员。
2. 若我司的***人员无法在旺旺上及时答复您的问题，请麻烦您致电深圳市展芯科技有限公司，电话：0755-86169688，我们将在***短的时间内响应您的需求。
品牌简介-PRCBE
展芯科技是一家***的探针台系统研发和生产商，致力于为用户提供中国（PRC）精准（Precise）、可靠（Reliable）和高性价比（Cost-effective）的探针台系统。
依托于自有的芯片失效分析实验室，展芯科技得以根据***前端的测试需求不断地研发改进探针台系统，以满足用户日新月异的测试需求。同时，芯片失效分析实验室也为展芯的探针台系统提供了理论联系实际的测试平台，芯片分析实验室用户在使用探针台系统的同时，也给我司产品提供了宝贵的改进建议。
经过10年的发展和积累，展芯已在探针台系统的应用技术领域取得了***的成绩，可针对用户不同的测试需求定制解决方案，如微弱电流测试（1fA）、RF 和mmW测试（THz）、高功率测试（100A，10kV）、真空高低温测试（-196℃~800℃）、光电测试等等。
凭借着PRC的产品，展芯赢得了半导体行业内知名科研机构和公司的信任和尊重，建立了长期的合作关系。展芯的探针台系统已在国内外的科研院所、学校和公司中获得广泛的使用，如中科院、广州五所（赛宝实验室）、北京自动化设备研究所、电子科技大学、西安电子科技大学、清华大学、北京大学、复旦大学、香港大学、香港科技大学、香港城市大学、华为、中兴、比亚迪、***等等。
感谢您对展芯的关注，相信我们PRC的产品定能让您在集成电路 (IC)、电路板、光学器件、MEMS、3D TSV、LCD等***半导体器件的精密电气测量及测试中获得精准可靠的测试数据。
***服务
2年质量保修期
除探针耗材外，展芯科技销售的产品质量保证期为货物签收之日起2年，在此期间若合同标的物出现质量问题，均由展芯负责维修或替换，但以下情况除外：1. 自然原因导致的产品质量***、精度下降；2. 人为或不可抗拒的自然现象而发生的损坏；3. 用户擅自进行的拆解、改装、功能附加或减除导致的损坏；4. 用户自行或经第三方维修导致的损坏。
免费终身维护
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