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XRF根据不同元素发出的特征X射线能量和波长各不相同，因此通过对X射线的能量或者波长的测量即可知道它是何种元素发出的，进行元素的定性分析。同时样品受激发后发射某一元素的特征X射线强度跟这元素在样品中的含量有关，因此测出它的强度就能进行元素的定量分析。

一般XRF有两种基本类型：

波长色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)

XRF射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)

人们通常把X射线照射在物质上而产生的次级X射线叫X射线荧光（X-Ray Fluorescence），而把用来照射的X射线叫原级X射线。所以X射线荧光仍是X射线。

一台典型的X射线荧光（XRF）仪器由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会***出二次X射线，并且不同的元素所***出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些***出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。X射线照在物质上而产生的次级 X射线被称为X射线荧光.

利用X射线荧光原理，理论上可以测量元素周期表中的每一种元素。在实际应用中，有效的元素测量范围为11号元素 （Na）到92号元素（U）。