PECVD石墨舟厂家-PECVD石墨舟-石金科技石墨制品

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

对炉头内外墙中间填充石墨粉的地方要用长铁棍插入其中并很好搅动，因为在通电 过程中，PECVD石墨舟，常有小部份石墨粉被氧化。搅动后，可使石墨粉中的空隙减少，以后再补充适量 的石墨粉。对炉头内外墙也要检查有无裂缝，PECVD石墨舟厂家，外墙的裂缝可抹以耐火泥，PECVD石墨舟生产厂家，内墙的裂缝则 用石墨扮调成浆仔细抹上。导电电极靠炉内侧的端部表面产生的金刚砂要用铲子铲掉， 然后抹上一层石墨浆。

炉子的使用寿命与操作和维护有着密切的关系。使用与维护得好的右墨化炉可以 连续生产两年之久;使用与维护不好，PECVD石墨舟哪家便宜，有可能只生产几炉就毁坏。

石墨舟的功用及整体质量对PECVD过程的影响

实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具，管式PECVD采用石墨舟作为承载工具，板式PECVD则采用石墨框作为承载工具。

以管式机石墨舟为例，石墨舟即是承载体，也是电极，从电路角度上看，石墨舟实际上是一组并联体，任意两片舟片都是一组正、负极极板，在射频电压的左右下形成电场。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

国产石墨舟的生产技术水平已经达到甚至超过进口坩埚，优质的国产坩埚具有以下特点：

1、石墨舟高的密度使得坩埚具备了z好的导热性能，其导热效果明显优于其他进口坩埚；

2、石墨舟外表有特别制作的釉层和致密的成型材料，大大提高了产品的耐腐蚀性能，延长其使用寿命；

3、石墨舟中的石墨成分全部采用天然石墨，导热性非常好。石墨舟加热后不可立刻将其置于冷的金属桌面上，以避免它因急剧冷却而断裂。