概述：
该设备用于晶圆片扩散、蒸发、C***生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择，清洗程序为纯水清洗、***清洗、冷热纯水冲洗、酸洗（HF）、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性完全达到进口同类设备水平，但价格、***服务、备品备件的供给等是进口设备无法比拟的。
主要特点：
采用进口PP板制作。
适用2-6寸硅片清洗。
超声功率强劲，性能稳定。
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