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Leybold TMP600C德国莱宝分子泵进气法兰口DN160ISO-K/DN160CF，抽速可达到560l/s，转速为36000rpm

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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

优点：

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

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爱德华STP-H301C分子泵维修

Edwa*** STP系列磁悬浮涡轮分子泵 用于电子显微镜和半导体应用。Edwa*** 的转子技术可实现yi流的性能，的制程灵活性。Edwa*** STP-301CB1 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。

产品详情：

品牌：爱德华 型号：STP-H301C 工作原理：分子真空泵

极限真空度类型：高真空0.00001~0.1Pa 极限真空度：1Pa抽气速率：1L/s

电机功率：1kW 工作压强范围：1Pa 温升：60℃ 进气口径：50mm