等离子-深圳 等离子处理设备厂-晟鼎精密(优质商家)

等离子清洗机：无论是真空还是大气，等离子，大气直喷，大气旋转，非常适用于各种尺寸，各种平面材料或产品的表面附着力处理。它包括经过现场验证的等离子体室，以及可以传输圆形或方形衬底和框架或粘合载体的创新处理系统。基于对称室设计，基板的所有区域均被对待，确保了晶圆和晶圆间的均匀性。

模块化设计允许每个等离子体室的容量增加

集成支持1到4个等离子体室

袖珍卡盘设计确保基板放置和定心，大化工艺重复性

可配置晶圆，晶圆在框架和圆形/方形基板高达480mm

等离子体约束技术将等离子体分布直接隔离在晶片上方，从而小化不期望的次级反应

达因特SPA系列大气等离子清洗机，经济***的真空等离子处理机分为直喷和旋转型，SPV等离子体处理机是真空腔体，台式﹨完全***的，只需较小的工作台面积.

SPA系列是大气等离子清洗机，其中分为直喷和旋转型 ， SPV等离子体处理机是真空腔体，台式﹨完全***的，需要较小的工作台面积。系统机箱容纳等离子体室，控制电子设备，东莞等离子表面处理机，13.56 MHz射频发生器和自动匹配网络。通过互锁的门或可拆卸的面板提供维护通路。等离子室***多支持7个可移动和可调节的动力或接地货架，以适应各种零件，零件和零件运输工具，深圳 等离子处理设备厂，包括杂志，托盘和船只。真空等离子体处理系统可以适应各种各样的工艺气体，包括氧气，等离子处理表面机器，氢气，氦气和氟化气体。两种型号都配有两（2）个电子质量流量控制器，用于气体控制，另外两个（2）可选（***多4个））。方便的设施连接，用于验证过程中使用的定期校准要求。

经济实惠的反应离子蚀刻在紧凑的台式配置中，各向异性反应离子蚀刻等离子体系统是完全***的，需要小的工作台面积。等离子体蚀刻机底盘也用作集成安全外壳，容纳等离子体室，控制电子设备，13.56 MHz射频发生器和自动匹配网络（只有真空泵在系统外部）。通过互锁的门或容易拆卸的面板提供维护通道。

真空等离子清洗机由高质量的阳极氧化铝和陶瓷夹具构成，具有出色的耐久性。等离子体室可以配置6“或8”电源电极，以适应各种晶圆尺寸，零件，IC封装和其他元件。