多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵,由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等,旋片真空泵,在电子行业得到了非常广泛的应用,替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能***而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业,并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式,其结构各有优势,相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制,泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小,不能够满足化工和制药等大抽速的需要





在选型微型真空泵时还要考虑以下问题:
微型泵的电磁干扰问题。
如果有精密电路控制微型泵,视电路抗干扰能力而定,可能需要订购低电磁干扰的微型泵。方案是选择配置无刷电机的微型泵(调速泵);因为无刷微型气泵基本没有干扰,低干扰性能甚至还要超过有刷微型气泵定做的低干扰型号;而且价格比同参数的有刷定做产品可能还要低,这点请注意。
综上所述,水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,佛山真空泵,因此它属于变容式真空泵。
罗茨泵的工作原理
罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,真空泵厂家,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。
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