蚀刻加工的精度和侧蚀问题 在蚀刻加工的工艺中，除不经任何防蚀处理的整体蚀刻方法外，都必须要注意防蚀层下蚀刻的“蔓延”问题，也就是我们常说的侧腐蚀。侧腐蚀的大小直接关系到图文的精度和蚀刻线条的极限尺寸。通常把防蚀层下的水平方向的蚀刻宽度A称为侧蚀量，侧蚀量A与蚀刻深度H的比值就是侧蚀率F：F=A/H 式中：A为侧蚀刻量(mm)，H为蚀刻深度(mm)；F为侧蚀刻率或腐蚀因素，用以表示不同条件下侧蚀刻量与蚀刻深度之间的关系。
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