PECVD石墨舟哪家好-PECVD石墨舟-石金科技有限公司

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟就是石墨模具。石墨模具本身是一种载体，PECVD石墨舟哪家便宜，可以把我们需要***或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时成为石墨舟，也有称为石墨船的。

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石墨舟的HF清洗步骤详细讲解

一般舟在运行100至150次后就应该进行清洗，PECVD石墨舟，这是因为石墨舟上的SiN会随着运行次数的增加而增加，影响石墨舟的正常使用。

在室温条件下(lt;40°C)，将石墨舟的部件放入HF浓度(5–20%)的腐蚀槽内进行腐蚀。z好的浓度是10%，腐蚀时间为4——6小时。低浓度条件下，PECVD石墨舟哪家好，腐蚀槽会被产生的SiN颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。浓度高于10%会对操作人员造成***。所有部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样HF酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。

在2号纯水槽内将其用纯水漂洗4——6小时。

用PH-试纸检查流动的水是不是中性的，必须保证所有的蚀刻残渣(SiF4)都已经被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，所有部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。

在85°C条件下，将分离的舟各部件烘干24小时。

石墨像海绵一样可以蓄水并保持比较长的时间;在100°C以上烘干或者是在未干的状态下将其送入炉管会引起水的突然气化，这会使石墨po裂。将一个没有完全干燥的舟放入炉管还可能导致炉门边缘的侵蚀以及真空系统的过分沉积。

在提供的装配台上将舟装配好。检查有无损伤。

用CentroTherm提供的转矩扳手(0.6Nm)拧紧陶瓷螺丝，石墨螺丝比较易碎，因此必须用手小心拧紧。

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石墨舟加工车间的防尘与除尘

吸尘管道应统一规划， 布局合理。如车间内的吸尘管道的架设， 要考虑到加工工艺特点， 与生产协调一致， 尽量不影响工艺操作。

机床、车间应定期清洁。定期将机器中累积的深圳石墨舟粉尘集中清理， 做好机床工作台、防尘盖的清洁工作， 防止二次污染。