随着环境问题的日益严重，人们对于VOCs废气治理也认识越来越深刻。由于VOCS废气覆盖范围较广，涉及方面较多并且难以避免，低温等离子废气处理，因此人们研究出来许多经过实践检验可行的治理方法。
水溶解式治理这种VOCs废气处理技术利用的原理是废气中的***物质会遇水进行溶解，进而被微生物吸收并在新陈代谢和自我生长的过程中逐步转化为无害物质，对空气和环境不会构成***。这种方法便于操作，但是大面积的废气治理则会造成水资源的浪费，因此只适合局部的小面积的VOCs废气治理，不做长远的使用和推广.
等离子废气净化器的作业原理，内部装有共同的碰吸单元，截留去除臭气中的颗粒物质；臭气搜集体系搜集的多元素气体通过等离子废气净化器，在高压等离子电场的效果下，电离初始态氧将其间的臭气离子进行电离荷电除臭，带电的细小离子（尘土粒子）被吸附单元所搜集，并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的***气体，被电场内所产生的臭氧所灭菌，并去除了异味，***气体被除去，去除率经实验检测，等离子废气净化器臭气去除率到达93%以上，洁净的空气经出风口排出，达标排放。
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等离子废气净化器放电过程中尽管电子温度很高，但重粒子温度很低，整个系统出现低温状况。等离子体降解污染物是使用这些高能电子、自由基等活性粒子，使污染物分子在极短的时间内发作分解，并发作后续的各种反应以到达降解污染物的意图。在均匀能量约5eV的大量电子作用下，经过净化器的苯、甲l苯、H2S、CS2、SO2等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、S、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。
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